[实用新型]成膜装置有效
| 申请号： | 201720789110.X | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN207016846U | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 长江亦周;高坂佳弘;青山贵昭;远藤光人 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种成膜装置，包括容器，其内部能容置基板；能将所述容器内部排气至真空状态的排气机构；储藏溶液的储藏机构；能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴；加热机构，其能对所述喷嘴和/或所述容器内部加热。本实用新型提供的成膜装置能够减少或消除基板在成膜过程中形成的液迹。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，其特征在于，包括：容器，其内部能容置基板；能将所述容器内部排气至真空状态的排气机构；储藏溶液的储藏机构；能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴；加热机构，其能对所述喷嘴和/或所述容器内部加热。
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