[实用新型]防静电装置有效
| 申请号： | 201720795167.0 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN206940523U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 周席仪;陈宽政 | 申请（专利权）人： | 亚智系统科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/68 | 分类号： | C02F1/68 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司44214 | 代理人： | 关家强 |
| 地址： | 215153 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种防静电装置，包括入水管路、出水管路和入气管路，所述出水管路与入水管路和入气管路均相连，所述入水管路和入气管路分别输入液体和气体到出水管路内混合，所述入水管路将混合后液体和气体输送出去。本实用新型主要用于在基板制程过程中，用超纯水输送管路的使用环境下，通过降低纯水阻抗，从而减少制程过程中静电的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 装置 | ||
【主权项】：
一种防静电装置，其特征在于，包括入水管路、出水管路和入气管路，所述出水管路与入水管路和入气管路均相连，所述入水管路和入气管路分别输入液体和气体到出水管路内混合，所述入水管路将混合后液体和气体输送出去。
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