[实用新型]一种高精度检测台和检测装置有效
申请号: | 201720795702.2 | 申请日: | 2017-07-03 |
公开(公告)号: | CN206905703U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 罗韩生;陈朗;陈孝林 | 申请(专利权)人: | 易泛特技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/06 |
代理公司: | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司44368 | 代理人: | 李永华,张广兴 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种高精度检测台,通过光模块对所述高精度检测台上的物体进行检测,包括上轴主体、下轴主体、上轴直线电机、下轴直线电机、两个上轴导轨、两个下轴导轨和检测台面板;两个所述下轴导轨和所述下轴直线电机均设置在所述下轴主体上,两个所述下轴导轨对称设置在所述下轴直线电机的两侧,所述上轴主体架设在所述下轴导轨上;两个所述上轴导轨和所述上轴直线电机均设置在所述上轴主体上,两个所述上轴导轨对称设置在所述上轴直线电机的两侧,所述检测台面板架设在所述上轴导轨上。机构更加紧凑,XY方向的定位精度更精准。具有一定的防尘作用;同时,隔绝了驱动会产生的跳动和震动,减低机构运动产生的震动跳动对测量结果的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种高精度检测台,通过光模块对所述高精度检测台上的物体进行检测,其特征在于,包括上轴主体、下轴主体、上轴直线电机、下轴直线电机、两个上轴导轨、两个下轴导轨和检测台面板;两个所述下轴导轨和所述下轴直线电机均设置在所述下轴主体上,两个所述下轴导轨对称设置在所述下轴直线电机的两侧,所述上轴主体架设在所述下轴导轨上;两个所述上轴导轨和所述上轴直线电机均设置在所述上轴主体上,两个所述上轴导轨对称设置在所述上轴直线电机的两侧,所述检测台面板架设在所述上轴导轨上。
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