[实用新型]一种发光器件测试系统的光参数测试装置有效
申请号: | 201720801906.2 | 申请日: | 2017-07-04 |
公开(公告)号: | CN207050960U | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 杨波;刘振辉;韦日文;李景均 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01M11/04 | 分类号: | G01M11/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种发光器件测试系统的光参数测试装置,解决了常见发光器件测试系统中收光组件容易对载片台的活动造成干扰的问题,其技术方案要点是,包括机座;设于所述机座上、用于对被测发光器件的光参数进行收集并测试的收光组件;以及,用于驱动所述收光组件靠近一载片台中被测发光器件的位置以进行光参数收集或远离所述载片台以便载片台移动至退片位置以取下被测元器件的驱动机构,达到收光组件不易对载片台的活动造成干扰的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 发光 器件 测试 系统 参数 装置 | ||
【主权项】:
一种发光器件测试系统的光参数测试装置,其特征在于,包括:机座(1);设于所述机座(1)上、用于对被测发光器件的光参数进行收集并测试的收光组件(31);以及,用于驱动所述收光组件(31)靠近一载片台(2)中被测发光器件的位置以进行光参数收集或远离所述载片台(2)以便所述载片台(2)移动至退片位置以取下被测元器件的驱动机构(32)。
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