[实用新型]一种探针接触测试系统有效
申请号: | 201720804491.4 | 申请日: | 2017-07-04 |
公开(公告)号: | CN207051322U | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 杨波;刘振辉;韦日文;李景均 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R1/073;G01R31/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种探针接触测试系统,解决了常见探针接触测试系统在使用时,需要驱动体积及重量较大的载片台上下移动的问题,其技术方案要点是,包括机架;设于机架上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构;以及,若干设于所述机架上的、固定有若干对测试芯粒进行接触测试的探针组件的、带动所述探针组件竖向上下移动以接触所述测试芯粒的探针座,达到驱使探针组件上下移动,同样可以实现对测试芯粒进行接触测试的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 接触 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种探针接触测试系统,其特征在于,包括:机架(1);设于机架(1)上的、供测试芯粒固定并带动所述测试芯粒沿横向和纵向移动的载片台机构(2);以及,若干设于所述机架(1)上的、固定有若干对测试芯粒进行接触测试的探针组件(7)的、带动所述探针组件(7)竖向上下移动以接触所述测试芯粒的探针座(3)。
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