[实用新型]基座以及物理气相沉积装置有效
| 申请号： | 201720823996.5 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN207072968U | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 武学伟;王桐;董博宇;张军;郭冰亮;王军;张鹤南;徐宝岗;马怀超;刘绍辉;赵康宁;耿玉洁;王庆轩;崔亚欣 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种基座以及物理气相沉积装置。该基座包括基座本体，具有一支撑面；支撑柱，位于所述基座本体的所述支撑面的中部区域；以及支撑件，位于所述基座本体的围绕所述支撑面的中部区域的周边区域，其中，所述支撑柱被配置为支撑待加工件，所述支撑件被配置为支撑盖环，在所述待加工件被所述支撑柱支撑且所述盖环被所述支撑件支撑时，所述盖环的至少靠近内侧的部分位于所述待加工件的上侧，且所述盖环与所述待加工件彼此分离。该基座或物理沉积装置通过支撑件支撑盖环，从而使得盖环不与待加工件接触，减小了待加工件所受的外部零件的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 基座 及物 理气 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种基座，其特征在于，包括：基座本体，具有一支撑面；支撑柱，位于所述基座本体的所述支撑面的中部区域；以及支撑件，位于所述基座本体的围绕所述支撑面的中部区域的周边区域，其中，所述支撑柱被配置为支撑待加工件，所述支撑件被配置为支撑盖环，在所述待加工件被所述支撑柱支撑且所述盖环被所述支撑件支撑时，所述盖环的至少靠近内侧的部分位于所述待加工件的上侧，且所述盖环与所述待加工件彼此分离。
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