[实用新型]一种双面冷光源曝光机有效
| 申请号： | 201720828262.6 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN207601503U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 初亚东 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300380 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种双面冷光源曝光机，包括支撑架、曝光光源结构架、LED紫外光源、快门板、光源距离调节尺、凸透镜、载片台和水冷式散热器，两个所述曝光光源结构架分别设置在所述支撑架的上下两端，所述载片台设置在两个所述曝光光源结构架中间，所述LED紫外光源设置在所述曝光光源结构架内部，所述LED紫外光源的光束依次穿过所述快门板和所述凸透镜达到载片台上，所述光源距离调节尺与所述支撑架相连，所述水冷式散热器与所述LED紫外光源相连。本实用新型的有益效果是有效提高曝光机的实用效率，提高曝光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光光源 结构架 曝光机 支撑架 凸透镜 光源距离调节 水冷式散热器 本实用新型 快门板 冷光源 曝光效率 上下两端 载片台 载片 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种双面冷光源曝光机，包括支撑架、曝光光源结构架、LED紫外光源、快门板、光源距离调节尺、凸透镜、载片台和水冷式散热器，其特征在于：两个所述曝光光源结构架分别设置在所述支撑架的上下两端，所述载片台设置在两个所述曝光光源结构架中间，所述LED紫外光源设置在所述曝光光源结构架内部，所述LED紫外光源的光束依次穿过所述快门板和所述凸透镜达到载片台上，所述光源距离调节尺与所述支撑架相连，所述水冷式散热器与所述LED紫外光源相连。
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