[实用新型]材料运送装置

摘要

本实用新型涉及运送装置领域，公开了一种材料运送装置，其包括：机架、承载机构和翻转驱动机构，翻转驱动机构分别连接机架和承载机构，以带动承载机构转动到相对于机架的水平位置或倾斜位置。实施本实用新型的技术方案，材料运送机构可以方便地调整材料的倾斜角度，以适应电梯箱的空间，从而可以利用电梯运送材料，尤其适合靶材的运送，例如TFT‑LCD制程中所需的靶材。优选地，该材料运送装置还包括设在机架底部的滚轮，承载机构呈板状，翻转驱动机构包括带动和支撑承载机构的千斤顶，以使该材料运送装置的结构以简单实用为基础，并且省力而不须使用电力，不须增加额外的升降设备。

主权项

1.一种材料运送装置，其特征在于，包括：机架(1)；承载机构(2)，可纵向转动地设在所述机架(1)上；翻转驱动机构(3)，分别连接所述机架(1)和所述承载机构(2)，以带动所述承载机构(2)转动到相对于所述机架(1)的水平位置或倾斜位置。