[实用新型]一种束流在线电荷极性转换装置有效
申请号: | 201720830898.4 | 申请日: | 2017-07-10 |
公开(公告)号: | CN206907501U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 陈立华;崔保群;唐兵;马瑞刚;黄青华;马鹰俊;马燮 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | G21K1/14 | 分类号: | G21K1/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102413 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型属于离子束操纵技术领域,具体涉及一种束流在线电荷极性转换装置,包括底部密封连接加热炉(3)的外筒(1),所述外筒(1)筒壁上对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通道孔(6),所述加热炉(3)用于通过加热工作介质产生工艺气体,还包括通过能够密封设置在所述外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的内筒(2),所述内筒(2)底部的开口位于所述加热炉(3)顶部的开口上方,所述内筒(2)的筒壁上对称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔(7)。该装置能够实现工作介质的循环利用,并限制工艺气体的作用范围,提高工作介质的使用效率,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 在线 电荷 极性 转换 装置 | ||
【主权项】:
一种束流在线电荷极性转换装置,包括底部密封连接加热炉(3)的外筒(1),所述外筒(1)筒壁上对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通道孔(6),所述加热炉(3)用于通过加热工作介质产生工艺气体,其特征是:还包括通过能够密封设置在所述外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的内筒(2),所述内筒(2)底部的开口位于所述加热炉(3)顶部的开口上方,所述内筒(2)的筒壁上对称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔(7)。
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