[实用新型]InAs/GaSbⅡ类超晶格有效

专利信息
申请号: 201720838436.7 申请日: 2017-07-12
公开(公告)号: CN207282503U 公开(公告)日: 2018-04-27
发明(设计)人: 曹耀辉;陈建桥 申请(专利权)人: 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/0304
代理公司: 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 代理人: 赵俊宏
地址: 066000 河北省秦*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型的目的是针对现有技术由于InAs/GaSbⅡ类超晶格的晶内界面多,使得材料的生长难度提高,材料的生长成本高、生产设备寿命低的不足,提供一种InAs/GaSbⅡ类超晶格,本结构的InAs/GaSbⅡ类超晶格中单位晶胞内部InAs和GaSb的界面层是InSb层,单位晶胞结构为InAs层、InSb层、GaSb层和GaAs层,InSb层在InAs层和GaSb层间,GaAs层在GaSb层外,采用本实用新型结构的InAs/GaSbⅡ类超晶格,减少了单位晶胞内不同材料形成的界面的数量,简化了单位晶胞内材料的结构,降低了晶格的生成难度,同时,由于此种结构打破了现有技术在补偿应力时采用的对称结构,采用了非对称结构平稳应力,不仅减少了材料界面数量,减少了层级,且进一步提高了InAs/GaSbⅡ类超晶格材料的探测波长和探测率。
搜索关键词: inas gasb 晶格
【主权项】:
InAs/GaSbⅡ类超晶格,其特征在于,所述的InAs/GaSbⅡ类超晶格中单位晶胞内部InAs和GaSb的界面层是InSb层,单位晶胞结构为:InAs层、InSb层、GaSb层和GaAs层,InSb层在InAs层和GaSb层间,GaAs层在GaSb层外。
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