[实用新型]一种大功率等离子喷枪有效

专利信息
申请号: 201720839779.5 申请日: 2017-07-11
公开(公告)号: CN207022274U 公开(公告)日: 2018-02-16
发明(设计)人: 秦国强;常金永;张志祥 申请(专利权)人: 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
主分类号: H05H1/28 分类号: H05H1/28;H05H1/34
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 殷红梅
地址: 214437 江苏省无锡市江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型属于等离子喷涂技术领域,应用于靶材生产行业,具体地说是一种大功率等离子喷枪,包括喷枪壳体及固定于喷枪壳体内的电极支撑环、前支撑环、导向电极座,所述电极支撑环置于前支撑环与导向电极座之间,且导向电极座、电极支撑环及前支撑环相互连接后形成冷却水管路,导向电极座上对应于冷却水管路外端固定有水电缆负极接头。该喷枪结构巧妙,设计合理,维护简单,能够明显提高等离子喷涂靶材的上粉率,提高生产效率,大幅降低成本,同时能提高靶材的致密度,降低电阻率,提高了靶材质量。
搜索关键词: 一种 大功率 等离子 喷枪
【主权项】:
一种大功率等离子喷枪,其特征在于:包括喷枪壳体(1)及固定于喷枪壳体(1)内的电极支撑环(9)、前支撑环(7)、导向电极座(11),所述电极支撑环(9)置于前支撑环(7)与导向电极座(11)之间,且导向电极座(11)、电极支撑环(9)及前支撑环(7)相互连接后形成冷却水管路,导向电极座(11)上对应于冷却水管路外端固定有水电缆负极接头(15);前支撑环(7)内部固定喷嘴(4),喷嘴(4)表面与前支撑环(7)之间形成冷却水空腔,冷却水空腔连通冷却水管路,前支撑环(7)上的进水孔(7d)与电极支撑环(9)上的电缆通路(9b)及导向电极座(11)上的水电缆通道(11e)相互贯通连接,水电缆正极接头(16)设置于所述进水孔(7d)、电缆通路(9b)及水电缆通道(11e)中;导向电极座(11)上安装电极(20),电极(20)的发射端伸入电极支撑环(9)内,电极(20)与电极支撑环(9)内壁密封设置,且电极(20)发射端与电极支撑环(9)同轴设置,电极(20)发射端与电极支撑环(9)之间形成工作气体输送腔,工作气体输送腔外端连接通气管接头(14);电极(20)发射端与电极支撑环(9)及喷嘴(4)同轴设置,喷嘴(4)与电极(20)发射端之间形成等离子发生腔。
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