[实用新型]一种基于双栅薄膜晶体管的多功能传感器有效
| 申请号： | 201720841632.X | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN207095585U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 王凯;李伟伟;冯肖 | 申请（专利权）人： | 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01K7/34;G01L1/16 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司44100 | 代理人： | 林玉芳 |
| 地址： | 528300 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于双栅薄膜晶体管的多功能传感器，包括双栅薄膜晶体管和在所述双栅薄膜晶体管的顶栅极耦合的物理场中的一种或多种；所述物理场包括光场、热场、力场或磁场。所述物理场为热场和力场。所述基于双栅薄膜晶体管的多功能传感器包括集成于同一柔性衬底并且相互独立的至少两个双栅薄膜晶体管；其中，至少一个所述双栅薄膜晶体管的顶栅极表面设有极化的压电材料或非极化的压电材料；所述压电材料的表面还设有金属材料。采用本实用新型所述的基于双栅薄膜晶体管的多功能传感器，与不同的物理场耦合，可以形成多种不同功能的传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜晶体管 多功能 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于双栅薄膜晶体管的多功能传感器，其特征在于：包括双栅薄膜晶体管和在所述双栅薄膜晶体管的顶栅极耦合的物理场中的一种或多种；所述物理场包括光场、热场、力场或磁场。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学，未经广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720841632.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：汽车里程表校正系统
- 下一篇：一种节气门位置传感器
