[实用新型]氦质谱检漏仪有效
| 申请号： | 201720844628.9 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN207300507U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 刘勇 | 申请（专利权）人： | 安徽博为光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种氦质谱检漏仪；解决的技术问题针对背景技术中提及的现有氦质谱检漏仪存在的问题。采用的技术方案一种氦质谱检漏仪，包括质谱室、复合分子泵、粗抽泵和细抽泵。优点，采用粗抽和细抽的检测方式，有效地提高了检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 氦质谱 检漏 | ||
【主权项】：
一种氦质谱检漏仪，其特征在于，包括质谱室、复合分子泵、粗抽泵和细抽泵；质谱室通过真空气管道设置在复合分子泵的一个进气口处，复合分子泵的另一进气口通过真空气管道连接吸枪检测阀，吸枪检测阀通过真空气管道连接吸枪接口，复合分子泵的出气口通过真空气管道分为两路检测通路；第一检测通路为，真空气管道连接粗检分子泵排气口阀，粗检分子泵排气口阀通过真空气管道连接粗抽泵的进气口，粗抽泵的出气口通过真空气管道连接粗抽泵放气阀，粗抽泵的进气口通过真空气管道连接粗检阀，粗检阀通过真空气管道连接检漏口；第二检测通路为，真空气管道连接细检分子泵排气口阀，细检分子泵排气口阀通过真空气管道连接细抽泵的进气口，细抽泵的出气口通过真空气管道连接细抽泵放气阀，细抽泵的进气口通过真空气管道连接细检阀，细检阀通过真空气管道连接检漏口；检漏口处通过真空气管道设置检漏口放气阀。
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