[实用新型]一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头

摘要

一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件上的转动接头，在转动接头的外部套设有保护衬套，且转动接头与保护衬套之间通过相配合的凸台和凹槽实现两者的同步转动；保护衬套外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套内，且在压头轴套上设置有顶紧螺栓，通过拧动顶紧螺栓，使保护衬套受到挤压并与转动接头紧密配合。本新型通过在转动接头和硅片抛光机的压头轴套之间设置保护衬套，而后利用顶紧螺栓挤压保护衬套进而与转动接头面摩擦接触，从而消除了螺栓对旋转接头的作用力矩，达到保护内压旋转接头的目的；为减少保护衬套对旋转接头的磨损，保护衬套的材质一般选用PVC、PP或PVDF等塑料来制造。

主权项

一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件（1）上的转动接头（2），其特征在于：在转动接头（2）的外部套设有保护衬套（3），且转动接头（2）与保护衬套（3）之间通过相配合的凸台（301）和凹槽（201）实现两者的同步转动；所述保护衬套（3）外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套（4）内，且在压头轴套（4）上设置有顶紧螺栓（5），通过拧动顶紧螺栓（5），使保护衬套（3）受到挤压并与转动接头（2）紧密配合。