[实用新型]刷片机晶片刷洗装置有效
| 申请号： | 201720852316.2 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN207068806U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 楚玉环 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶片制造领域，尤其涉及一种刷片机晶片刷洗装置，包括机架、洗刷池和晶片载台，洗刷池位于机架下方，晶片载台位于洗刷池内，还包括兆声容器、兆声振板、兆声振板发生器、连接板和进水管，兆声振板设置在兆声容器中，兆声容器通过连接板与机架连接，兆声振板发生器穿过兆声容器上方与兆声振板连接，进水管穿过兆声容器与兆声振板连接；本实用新型设计的一种刷片机晶片刷洗装置，通过增加兆声装置，让水流产生振动进而去除晶片表面微小的颗粒，使得晶片纯度更高，质量好，效率高、安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 刷片机 晶片 刷洗 装置 | ||
【主权项】：
刷片机晶片刷洗装置，包括机架(1)、洗刷池(6)和晶片载台(5)，洗刷池(6)位于机架(1)下方，晶片载台(5)位于洗刷池(6)内，其特征在于还包括兆声容器(3)、兆声振板(9)、兆声振板发生器(7)、连接板(2)和进水管(8)，兆声振板(9)设置在兆声容器(3)中，兆声容器(3)通过连接板(2)与机架(1)连接，兆声振板发生器(7)穿过兆声容器(3)上方与兆声振板(9)连接，进水管(8)穿过兆声容器(3)与兆声振板(9)连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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