[实用新型]耐高温碳化硅欧姆接触结构有效
| 申请号： | 201720867869.5 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN206907771U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张艺蒙;张玉明;李彦良;宋庆文;汤晓燕 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/45 | 分类号： | H01L29/45 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种耐高温碳化硅欧姆接触结构，包括SiC衬底(10)、SiC外延层(20)以及依次设置于所述SiC外延层表面的Ni金属层(30)、W金属层(40)、TaSi2金属层(50)、Pt金属层(60)。本实用新型提供的耐高温碳化硅欧姆接触结构在高温、空气环境下有着良好热稳定性和电学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 耐高温 碳化硅 欧姆 接触 结构 | ||
【主权项】：
一种耐高温碳化硅欧姆接触结构，其特征在于，包括：SiC衬底(10)、SiC外延层(20)以及依次设置于所述SiC外延层(20)表面的Ni金属层(30)、W金属层(40)、TaSi2金属层(50)、Pt金属层(60)。
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