[实用新型]一种微纳米光场实时构建调制系统有效
| 申请号： | 201720872270.0 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN207301512U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 叶燕;许宜申;魏国军;吴尚亮;许峰川;谷雨;刘艳花;黄文彬;陈林森 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙)33273 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微纳米光场实时构建调制系统，该系统包括光源、空间过滤单元、4F光学系统和光波调制单元，所述4F光学系统包括沿光路依次设置的第一透镜(组)和第二透镜(组)，本实用新型通过位相元件或位相元件组实现对入射波面实时的调控，通过空间过滤单元实现对入射光子波面、光波调制光学元器件像素选择、像素有效区域、成像面光场空间滤波等参数调控，最终利用空间滤波/空间分时滤波和/或位相元件的相对位置变化，实现图案、图案分布区域以及图案的空频、取向、占空比以及相位或相移量等结构参数的连续调制。该系统可灵活集成于各种光刻或显微系统中，实现任意微纳米结构的实时写入和可调制微纳米结构光检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 实时 构建 调制 系统 | ||
【主权项】：
一种微纳米光场实时构建调制系统，其特征在于，包括光源、空间过滤单元、4F光学系统和光波调制单元，所述4F光学系统包括沿光路依次设置的第一透镜和第二透镜，所述光波调制单元设置于所述第一透镜和第二透镜之间，该光波调制单元对入射光或子波面分立调制；所述空间过滤单元位于4F光学系统之前或之后，该空间过滤单元对入射光波面、光波调制单元像素选择、像素有效区域、成像面光场空间滤波中至少一个参量调控，在系统的后焦面产生图案构成、图案位置、图案面积以及图案结构参数实时可调的光场分布。
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