[实用新型]一种非触式硅片抓取机构有效
| 申请号： | 201720872380.7 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN207068833U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 赵刚;沈杰 | 申请（专利权）人： | 杭州研卓智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种非触式硅片抓取机构，包括支架，所述支架上架装有无杆气缸和支架横梁，所述无杆气缸与所述支架横梁平行设置，所述无杆气缸包括滑动块，所述滑动块上安装有升降气缸，所述升降气缸下方连接有吸盘架，所述吸盘架上安装有伯努利吸盘；所述支架横梁上安装有拖链线槽。本实用新型的一种非触式硅片抓取机构采用伯努利吸盘悬浮式吸取硅片进行转移，吸盘与硅片不直接接触，大大减少了硅片的受损几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非触式 硅片 抓取 机构 | ||
【主权项】：
一种非触式硅片抓取机构，其特征在于：包括支架，所述支架上架装有无杆气缸和支架横梁，所述无杆气缸与所述支架横梁平行设置，所述无杆气缸包括滑动块，所述滑动块上安装有升降气缸，所述升降气缸下方连接有吸盘架，所述吸盘架上安装有伯努利吸盘；所述支架横梁上安装有拖链线槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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