[实用新型]硅片清洗系统

摘要

本实用新型涉及一种硅片清洗系统，包括慢提拉槽和设置在慢提拉槽之前的清水槽，慢提拉槽配备有在线加水装置，清水槽还配备有在线喷淋装置，在线喷淋装置包括储水池、水泵、喷淋组件、在清水槽内的感测器，储水池与慢提拉槽通过溢流管道连通，储水池与水泵连通，喷淋组件与水泵连通，感测器与交流接触器电连接，交流接触器与水泵的电控器电连接，感测器检测到所述清水槽内有硅片后使交流接触器的磁芯和触点吸合以使水泵启动。在线喷淋装置的水泵启动后喷淋组件向清水槽内的硅片喷射，对硅片进行充分的清洗，从而有效降低产生污片的风险，提高硅片品质；同时在线喷淋装置所使用的水来自于对慢提拉槽的温水的二次回收利用，起到节约资源的目的。

主权项

一种硅片清洗系统，包括慢提拉槽和设置在慢提拉槽之前的清水槽，所述慢提拉槽配备有在线加水装置，其特征在于，所述清水槽还配备有在线喷淋装置，所述在线喷淋装置包括：储水池、水泵、喷淋组件、设置在所述清水槽内的感测器，其中所述储水池与慢提拉槽通过溢流管道连通，储水池与水泵连通，喷淋组件与水泵连通，所述感测器与交流接触器电连接，所述交流接触器与水泵的电控器电连接，所述感测器检测到所述清水槽内有硅片后使所述交流接触器的磁芯和触点吸合以使水泵启动。