[实用新型]一种晶圆打光装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆打光装置，涉及了打光设备领域，包括支架组件、光源组件、相机、支架安装座、夹料平台以及相机安装架；支架安装座、夹料平台、相机安装架由上至下依次组合安装在一起，光源组件固定在支架组件上，待打光的晶圆放置在夹料平台上，且位于光源组件下方，相机组合安装在移动平台上，光源组件包括可视光源组、不可视光源组以及外壳，可视光源组、不可视光源组均设有两排，且两排可视光源组和两排不可视光源组并列设置在外壳的内部。本实施例中可通过光源组件中各种光源的组合对晶圆进行打光，提高了相机的成像质量，提高了晶圆加工的良率及效率，且本实施例所述的晶圆打光装置适应多种晶圆的打光。

主权项

一种晶圆打光装置，其特征在于；包括支架组件、光源组件、相机、支架安装座、夹料平台以及相机安装架；所述支架安装座、所述夹料平台、所述相机安装架由上至下依次组合安装在一起，所述支架组件组合安装在所述支架安装座上；所述光源组件固定在所述支架组件上，待打光的晶圆放置在所述夹料平台上，且位于所述光源组件下方；所述相机安装架上设置有滑轨，所述滑轨滑动连接有一移动平台，所述相机组合安装在所述移动平台上，所述相机随着所述移动平台在所述滑轨上左右移动；所述光源组件包括可视光源组、不可视光源组以及外壳；所述外壳内部中空，所述可视光源组、所述不可视光源组均设有两排，且所述两排可视光源组和所述两排不可视光源组并列设置在所述外壳的内部。