[实用新型]一种取向膜涂布机有效
申请号: | 201720898818.9 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN207051628U | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 景强强;康慧;杨宗胜;李宾 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337;C03C17/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型实施例提供一种取向膜涂布机,涉及镀膜设备技术领域,能够提高清洁涂布机基台的效率,避免在清洁过程中造成二次污染。所述取向膜涂布机包括基台,基台用于放置待涂布基板,还包括位于基台上方的真空吸尘装置;真空吸尘装置包括吸尘口,以及与吸尘口连通的真空管道,吸尘口位于真空吸尘装置靠近基台的表面上,真空管道用于输送用以吸尘的真空气流。本实用新型用于清洁涂布机基台。 | ||
搜索关键词: | 一种 取向 膜涂布机 | ||
【主权项】:
一种取向膜涂布机,包括基台,所述基台用于放置待涂布基板,其特征在于,还包括位于所述基台上方的真空吸尘装置;所述真空吸尘装置包括吸尘口,以及与所述吸尘口连通的真空管道,所述吸尘口位于所述真空吸尘装置靠近所述基台的表面上,所述真空管道用于输送用以吸尘的真空气流。
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