[实用新型]一种密封加强的均匀喷淋光伏硅片石英扩散炉

摘要

一种密封加强的均匀喷淋光伏硅片石英扩散炉，石英舟用于承载光伏硅片，石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，所述石英炉门具有台阶结构，石英炉门的一部被塞入石英扩散炉内部，石英炉门的另一部通过台阶结构顶靠在石英扩散炉的边沿而处于石英扩散炉外部。

主权项

一种密封加强的均匀喷淋光伏硅片石英扩散炉，其特征在于，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管，石英舟用于承载光伏硅片，石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，所述石英炉门具有台阶结构，石英炉门的一部被塞入石英扩散炉内部，石英炉门的另一部通过台阶结构顶靠在石英扩散炉的边沿而处于石英扩散炉外部，喷淋管的管壁开有多个喷淋孔，距离石英扩散炉头部较近的喷淋孔的直径大于距离石英扩散炉尾部较近的喷淋孔的直径，保温桶由多片平行排列的石英片组成，石英片之间用石英支柱焊接连接，石英片是圆形片，且采用不透明石英材质。