[实用新型]一种可实现稳定测量的双波长干涉显微装置

摘要

本实用新型涉及一种可实现稳定测量的双波长干涉显微装置。本实用新型技术方案包括依次沿光轴方向设置的激光器一、偏振片一、宽带消偏振分光棱镜一、扩束准直器、宽带消偏振分光棱镜二、消色差透镜、长工作距离显微物镜、宽带消偏振分光棱镜三和样品，激光器二垂直设置于宽带消偏振分光棱镜一之上，之间设置有偏振片二；CCD相机垂直设置于宽带消偏振分光棱镜二之上，宽带偏振分光棱镜与宽带消偏振分光棱镜三垂直设置，反射镜一和反射镜二设置于宽带偏振分光棱镜相垂直的两个面上。该装置基于长工作距离显微物镜和小型的双波长分光单元,CCD相机可以实时记录两个波长对应的、条纹相互正交的离轴干涉图，通过傅立叶变换算法得到被测样品的相位分布。

主权项

一种可实现稳定测量的双波长干涉显微装置，其特征在于：包括激光器一（1）、偏振片一（2）、激光器二（3）、偏振片二（4）、宽带消偏振分光棱镜一（5）、扩束准直器（6）、宽带消偏振分光棱镜二（7）、消色差透镜（8）、长工作距离显微物镜（9）、宽带消偏振分光棱镜三（10）、宽带偏振分光棱镜（11）、反射镜一（12）、反射镜二（13）、样品（14）和CCD相机（15）；所述的激光器一（1）、偏振片一（2）、宽带消偏振分光棱镜一（5）、扩束准直器（6）、宽带消偏振分光棱镜二（7）、消色差透镜（8）、长工作距离显微物镜（9）、宽带消偏振分光棱镜三（10）和样品（14）依次沿光轴方向设置，所述的激光器二（3）垂直设置于宽带消偏振分光棱镜一（5）之上，所述的偏振片二（4）设置于激光器二（3）和宽带消偏振分光棱镜一（5）之间；CCD相机（15）垂直设置于宽带消偏振分光棱镜二（7）之上，宽带偏振分光棱镜（11）与宽带消偏振分光棱镜三（10）垂直设置，宽带偏振分光棱镜（11）相垂直的两个面上分别设置有反射镜一（12）和反射镜二（13）。