[实用新型]一种不积水的抛光头有效
| 申请号： | 201720904612.2 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN207139536U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;路新春;陈祥玉 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种不积水的抛光头，所述抛光头包括夹片组件；盖体，盖体可移动地安装在夹片组件上且与夹片组件之间限定出容纳腔；基体，基体可上下移动地安装在夹片组件上且位于容纳腔内，基体与盖体紧密相连；膜片，膜片分别与夹片组件和基体相连，且限定出密闭的腔室。根据本实用新型的不积水的抛光头，盖体与基体的顶部之间无间隙，防止抛光液进入抛光头内部，这样在夹片组件与基体的相对运动下不会由抛光头内部挤出抛光液，不会影响抛光工艺和抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 积水 抛光 | ||
【主权项】：
一种不积水的抛光头，其特征在于，包括：夹片组件；盖体，所述盖体可移动地安装在所述夹片组件上且与所述夹片组件之间限定出容纳腔；基体，所述基体可上下移动地安装在夹片组件上且位于所述容纳腔内，所述基体与所述盖体紧密相连；膜片，所述膜片分别与所述夹片组件和所述基体相连，且限定出密闭的腔室。
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