[实用新型]一种扫描场镜畸变校准装置有效
| 申请号： | 201720912477.6 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN207163693U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 朱俊 | 申请（专利权）人： | 常州雷射激光设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;B23K26/70 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司32252 | 代理人： | 倪青华 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扫描场镜畸变校准装置，包括扫描头组件、场镜组件、光掩膜、固定件、光学原件、安装块、滑轨、滑块和遮光板，场镜组件和扫描头组件均安装在安装架上，扫描头组件设置在场镜组件左侧，光学原件设置在场镜组件的正下方，光掩膜通过固定件可拆卸式固定在光学原件上端面，固定件通过铰链安装在光学原件上端面，两个安装块对称固定在场镜组件下端，两个滑轨分别对称固定在安装块右端面，两个滑块分别位于两个滑轨内部，本实用新型可以使用同轴成像、照明、和一个标准件（光掩模）来校准场镜的畸变和验证畸变校准后的精度，结构简单，方法上很直接，无需使用激光打印工件，无需使用离线测量设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 畸变 校准 装置 | ||
【主权项】：
一种扫描场镜畸变校准装置，包括装置主体和遮光机构（6），其特征在于：所述装置主体包括扫描头组件（1）、场镜组件（2）、光掩膜（3）、固定件（4）和光学原件（5），所述场镜组件（2）和扫描头组件（1）均安装在安装架上，所述扫描头组件（1）设置在场镜组件（2）左侧，所述光学原件（5）设置在场镜组件（2）的正下方，所述光掩膜（3）通过固定件（4）可拆卸式固定在光学原件（5）上端面，所述固定件（4）通过铰链安装在光学原件（5）上端面；所述遮光机构（6）设置在场镜组件（2）下端，所述遮光机构（6）包括安装块（61）、滑轨（62）、滑块（63）和遮光板（64），所述安装块（61）、滑轨（62）和滑块（63）均设有两个，两个所述安装块（61）对称固定在场镜组件（2）下端，两个所述滑轨（62）分别对称固定在安装块（61）右端面，两个所述滑块（63）分别位于两个滑轨（62）内部。
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