[实用新型]一种单晶硅生产中的氩气循环装置

摘要

本实用新型公开一种单晶硅生产中的氩气循环装置，包括氩气存储罐，汽化器、单晶炉、真空泵、固化物处理器、氧化铜反应器、石灰水反应装置、干燥器、以及精馏设备；从单晶炉排出来的高浓度废氩气利用真空泵抽出进入固化物处理器进行静电除尘，将其中的油、硅类等固化物通过静电吸附过滤掉；过滤后前期5%的废氩气排至空气，后期95%废氩气通过灼热的氧化铜反应器使一氧化碳、氢气、甲烷等烃类物质在高温作用下发生化学反应生成二氧化碳、水、铜，再进入装有石灰水的装置进行冷却和化学反应除掉其中的二氧化碳，通过干燥装置去除掉水分，进入精馏装置将氩气与氮气分馏出来，分馏出来的纯氩气再进入单晶炉中循环利用；实现合理利用资源，不污染空气。

主权项

一种单晶硅生产中的氩气循环装置，其特征在于：包括氩气存储罐（101），汽化器（102）、单晶炉（103）、真空泵（104）、固化物处理器（105）、氧化铜反应器（107）、石灰水反应装置（108）、干燥器（109）、以及精馏设备（110）；所述氩气存储罐（101）通过管道与汽化器（102）连接；所述汽化器（102）通过管道与单晶炉（103）连接并在该连接管道上设置有阀门；所述单晶炉（103）分别通过管道与真空泵（104）和精馏设备（110）连接，同时在该管道上设置有阀门；所述真空泵（104）通过管道分别与氧化铜反应器（107）和石灰水反应装置（108）连接，并分别在该管道上均设置有阀门，同时该真空泵（104）还通过管道与固化物处理器（105）连接，在该管道上设置三通管路，且均设置有阀门；所述固化物处理器（105）通过管道与氧化铜反应器（107）连接，在该管道上设置四通管路，并在该管道上设置有阀门；所述氧化铜反应器（107）通过管道与石灰水反应装置（108）连接，并在该管道上安装有阀门；所述石灰水反应装置（108）再通过管道与干燥器（109）连接，在该管道上设置阀门；所述干燥器（109）再通过管道与精馏设备（110）连接。