[实用新型]一种硅烷尾气载气、安全处理系统

摘要

本实用新型公开一种硅烷尾气载气、安全处理系统，包括PECVD主设备、连接管道、真空泵、和尾气排气管，该尾气排气管与排气管网连接；其特征在于所述尾气排气管开设有外接孔，在该外接孔上连接有氮气管，氮气管的另一端与氮气源连接，所述氮气管安装了微流量调节阀和浮子流量计；本实用新型通过注入定量氮气进入硅烷尾气排气系统，维持排气管道微正压，隔绝硅烷和空气，稀释硅烷，实现硅烷尾气的稀释和向室外的运载过程；在室外，硅烷尾气通过排气管道从高处排放；由于氮气的掺杂，硅烷尾气实现了无火星，无火花，无高温过程的自燃处理；解决了传统技术耗费大量能源的问题，降低了生产成本，同时避免了排气管网堵塞，提高了生产过程的安全性。

主权项

一种硅烷尾气载气、安全处理系统，包括PECVD主设备（101）、真空泵（103）、连接PECVD主设备（101）和真空泵（103）的连接管道（102），以及连接于真空泵（103）的尾气排气管（104），该尾气排气管（104）再与尾气排气管网连接；其特征在于：所述尾气排气管（104）开设有外接孔（1），在该外接孔（1）上连接有氮气管（3），同时在该氮气管（3）的另一端与氮气源连接；所述氮气管（3）分别安装了微流量调节阀（2）和浮子流量计（6）。