[实用新型]一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置有效
申请号: | 201720932352.X | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207148047U | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 李进春;张国方;裘揆;黄威 | 申请(专利权)人: | 上海和伍精密仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01N29/06 | 分类号: | G01N29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200240 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置,包括第一运动机构、第二运动机构、检测部件,其中第一运动机构为螺旋副,第一运动机构沿第一方向做往复直线运动,第二运动机构沿第二方向运动;检测部件、检测样品分别与第一运动机构、第二运动机构其中一个连接并带动检测部件、检测样品实现第一方向往复直线运动、第二方向运动;第一运动机构与第二运动机构结合同步扫描合成预定的扫描轨迹。本实用新型能够实现快速同步扫描,既能保证良好的扫描效果,又能大大提高扫描速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 螺旋 实现 快速 同步 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种基于螺旋副实现快速同步扫描的装置,其特征在于:包括:第一运动机构即扫描机构、第二运动机构、检测部件,其中:所述第一运动机构沿第一方向做往复直线运动,所述第二运动机构沿第二方向运动;所述检测部件与所述第一运动机构、所述第二运动机构中一个连接,检测样品则与所述第一运动机构、所述第二运动机构中另一个连接,所述第一运动机构、所述第二运动机构带动所述检测部件、所述检测样品实现第一方向的往复直线运动、第二方向运动;所述第一运动机构与所述第二运动机构同步扫描,合成预定的扫描轨迹;所述第一运动机构为螺旋副,包括第一驱动部件、支座、第一带轮、第一丝杠座、第一丝杠、第一运动导板和第一导轨,其中:所述第一驱动部件安装在所述支座上,所述第一驱动部件通过所述第一带轮与所述第一丝杠连接并驱动所述第一丝杠;所述第一丝杠的两端分别固定在所述第一丝杠座上;所述第一运动导板与所述第一丝杠、所述第一导轨连接;所述第一运动导板连接所述检测部件或检测样品;所述第一导轨保证所述第一运动导板带动所述检测部件或检测样品进行第一方向往复直线运动。
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