[实用新型]多工位3D盖板曝光机有效
申请号: | 201720942776.4 | 申请日: | 2017-07-31 |
公开(公告)号: | CN207051666U | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 余燕青 | 申请(专利权)人: | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所44249 | 代理人: | 许彬 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及多工位3D盖板曝光机,具有机座,机座上设有进料平台、上料工位、下料工位、出料平台及曝光工位;以及组装在机座上工作台、上料机械手、下料机械手、曝光MASK、对位系统、曝光光源,工作台实现多自由度调整,达到工作台上的盖板进行纠偏对位,工作台在工作初始位与曝光工位之间往复移动;曝光光源通过曝光MASK对工作台上的盖板曝光加工。本实用新型实现多工位曝光工作,上下料方便,对位和定位快捷准确,工位之间工作衔接紧凑,适应2D、2.5D、3D玻璃盖板曝光加工,提升工作效率及工作质量,也节约运行成本,对企业的生产效益带来可观的提升。 | ||
搜索关键词: | 多工位 盖板 曝光 | ||
【主权项】:
多工位3D盖板曝光机,其特征在于:具有:机座(1),该机座(1)上设有进料平台(15)、上料工位(12)、下料工位(11)、出料平台(14)及曝光工位(13);工作台(2),该工作台(2)组装在机座(1)上,实现多自由度调整,工作台(2)由气缸或者电动带动而在工作初始位与曝光工位(13)之间往复移动;进料平台(15)设置真空吸附装置,盖板(7)吸附在进料平台(15)的上面,进料平台(15)由气缸或者电动带动,进料平台(15)将预加工的盖板(7)移送到上料工位(12);上料机械手(3),该上料机械手(3)在上料工位(12)和工作台(2)的工作初始位之间移动,上料机械手(3)从上料工位(12)移动盖板(7)到工作台(2)的工作初始位;下料机械手(8),该下料机械手(8)在工作台(2)的工作初始位和下料工位(11)之间移动,下料机械手(8)从工作台(2)的工作初始位移动盖板(7)到下料工位(11);出料平台(14)设置真空吸附装置,盖板(7)吸附在出料平台(14)上面,出料平台(14)由气缸或者电动带动,出料平台(14)将加工好的盖板(7)从下料工位(11)移出;曝光MASK(4),该曝光MASK(4)组装在机座(1)上,曝光MASK(4)在机座(1)上的同一曝光工位(13)上下往复移动;对位系统(5),该对位系统(5)组装在机座(1)上,对位系统(5)在机座(1)上的不同曝光工位(13)之间往复移动;对位系统(5)通过曝光MASK(4)的靶标,对工作台(2)上的盖板(7)进行纠偏对位;曝光光源(6),该曝光光源(6)组装在机座(1)上,曝光光源(6)在机座(1)上的不同曝光工位(13)之间往复移动;曝光光源(6)通过曝光MASK(4)对工作台(2)上的盖板(7)曝光。
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