[实用新型]压力传感器模块温箱校验装置有效
申请号: | 201720952389.9 | 申请日: | 2017-08-01 |
公开(公告)号: | CN207036347U | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 王东平;邱丰 | 申请(专利权)人: | 苏州感芯微系统技术有限公司 |
主分类号: | G01L27/00 | 分类号: | G01L27/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人: | 范晴 |
地址: | 215121 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了压力传感器模块温箱校验装置,包括温箱(1),用以为压力传感器模块提供校验所需的温度;设置在所述温箱(1)内的若干个压力罐(2),所述压力罐(2)连接至加压装置用以为压力传感器模块提供校验所需的压力;及设置在所述压力罐(2)内的校验载板(3),所述校验载板(3)上设有若干个与压力传感器模块匹配的探针组,所述探针组连接至校验总线(4),所述校验总线(4)连接至信号采集器用以采集压力传感器模块校验数据。本实用新型提供的温箱校验装置,可提高压力传感器模块校验效率,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 模块 校验 装置 | ||
【主权项】:
压力传感器模块温箱校验装置,其特征在于包括:温箱(1),用以为压力传感器模块提供校验所需的温度;设置在所述温箱(1)内的若干个压力罐(2),所述压力罐(2)连接至加压装置用以为压力传感器模块提供校验所需的压力;及设置在所述压力罐(2)内的校验载板(3),所述校验载板(3)上设有若干个与压力传感器模块匹配的探针组,所述探针组连接至校验总线(4),所述校验总线(4)连接至信号采集器用以采集压力传感器模块校验数据。
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