[实用新型]一种用于自动定位和对中夹持单晶硅棒的机构有效

专利信息
申请号: 201720957797.3 申请日: 2017-08-02
公开(公告)号: CN207224319U 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 曹建伟;傅林坚;沈文杰;卢嘉彬;谢永旭;邱文杰;张正良;陈志聪 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及单晶硅棒加工设备,旨在提供一种用于自动定位和对中夹持单晶硅棒的机构。该机构的吸盘移动定位组件装在第一丝杠导轨组件上,铸造支撑框架内设气缸,外侧面沉孔内置吸盘,吸盘尾部通过吸盘连接杆接至气缸;在沉孔同侧装有接触式传感器;第二丝杠导轨组件上设焊接支撑平台,其上设焊接支架和硅棒支撑滚轮。焊接支架上固定气动马达和对中夹持机械手组件,并通过蜗轮蜗杆减速机与对中夹持机械手组件相接;第一丝杠导轨组件与第二丝杠导轨组件头尾相对设置且位于同一轴线上。本实用新型能实现单晶硅棒自动定位和单晶硅棒在切割之前的自对中夹持,保证单晶硅棒在切割中切割面与切割线之间的垂直度,从而达到减少面斜率,提升原料利用率。
搜索关键词: 一种 用于 自动 定位 夹持 单晶硅 机构
【主权项】:
一种用于自动定位和对中夹持单晶硅棒的机构,包括用于支撑和传送单晶硅棒的硅棒支撑滚轮;其特征在于,该机构还包括至少两组对中夹持装置,以及分别设于两组丝杠导轨组件上的吸盘移动定位组件和上料台移动支撑组件以用于实现自动定位;所述吸盘移动定位组件有一个中空的铸造支撑框架,铸造支撑框架内部装有气缸;在与气缸相对的铸造支撑框架外侧面上设置沉孔,沉孔内置吸盘,吸盘的尾部通过吸盘连接杆接至气缸;在沉孔同侧的铸造支撑框架上,装有一个接触式传感器;铸造支撑框架的底部通过丝杆螺母座安装在第一丝杠导轨组件上,第一驱动电机通过第一减速机装在第一丝杠导轨组件的末端;所述上料台移动支撑组件包括安装在第二丝杠导轨组件上的焊接支撑平台,第二驱动电机通过第二减速机装在第二丝杠导轨组件的末端;所述硅棒支撑滚轮有两排,平行设于焊接支撑平台上;所述对中夹持装置包括固定安装在所述焊接支撑平台上的焊接支架,焊接支架上固定安装有气动马达和对中夹持机械手组件;气动马达通过蜗轮蜗杆减速机与对中夹持机械手组件相接,用于夹持单晶硅棒;第一丝杠导轨组件与第二丝杠导轨组件头尾相对设置且位于同一轴线上,使吸盘移动定位组件中的吸盘能与被对中夹持机械手组件所夹持的单晶硅棒的端面相对。
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