[实用新型]用于原子力显微镜的光学观察定位装置

摘要

本实用新型公开了一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置，包括原子力扫描头、探针架和光学成像装置；所述原子力扫描头包括箱体、激光器装置和光电探测器，所述箱体顶端设有开口；所述光学成像装置包括第一镜筒、一端与所述第一镜筒垂直连通的第二镜筒及设置在所述第二镜筒另一端的相机，所述第一镜筒内由下至上依次设置有物镜、半透半反镜和照明光源。本实用新型的用于原子力显微镜的光学观察定位装置结构简单，与原子力显微镜的扫描装置一体式组装，集成度高；采用精准的定焦定倍定位设计，无需手动调焦、无需变倍、无需调节光学观察视野位置，极大的方便了原子力显微镜的操作性，能够很轻易的找到待测的样本区域。

主权项

一种用于原子力显微镜的光学观察定位装置，其特征在于，包括：原子力扫描头、探针架和设置于所述原子力扫描头上的光学成像装置；所述原子力扫描头包括箱体、设置于所述箱体内的激光器装置和设置于所述激光器装置对侧的光电探测器，所述箱体顶端设有开口；所述光学成像装置包括第一镜筒、一端与所述第一镜筒垂直连通的第二镜筒及设置在所述第二镜筒另一端的相机，所述第一镜筒内由下至上依次设置有物镜、半透半反镜和照明光源，所述第二镜筒内设置有滤光片。