[实用新型]一种带有大气喷射泵的罗茨水环真空机组

摘要

本实用新型属于真空设备技术领域，特指一种带有大气喷射泵的罗茨水环真空机组。包括机架，机架上从上至下设置有第一罗茨真空泵、第二罗茨真空泵以及水环真空泵；第一罗茨真空泵上设置有第一进气口和第一排气口，第二罗茨真空泵上设置有第二进气口和第二排气口，第一排气口通过第一管路与第二进气口相连，第二排气口通过第二管路连接有大气喷射泵；水环真空泵设置有第三进气口和第三排气口，大气喷射泵通过第三管路连接于第三进气口，气体由第一进气口进入，从第三排气口排出。本实用新型为了避免水环泵所提供的真空度不够，在水环泵与第二罗茨真空泵之间安装了大气喷射泵，大气喷射泵可提高真空度，使得整个机组抽速大，消耗功率小，结构紧凑。

主权项

一种带有大气喷射泵的罗茨水环真空机组，包括机架，其特征在于：机架上从上至下设置有第一罗茨真空泵、第二罗茨真空泵以及水环真空泵；所述第一罗茨真空泵上设置有第一进气口和第一排气口，第二罗茨真空泵上设置有第二进气口和第二排气口，所述第一排气口通过第一管路与所述第二进气口相连，所述第二排气口上设有第二管路，第二管路上连接有大气喷射泵；所述水环真空泵上设置有第三进气口和第三排气口，所述大气喷射泵通过第三管路连接于所述第三进气口，气体由所述第一进气口进入，最终从所述第三排气口排出。