[实用新型]一种除氧空气过滤装置

摘要

本实用新型提供了一种除氧空气过滤装置，涉及空气过滤领域。除氧空气过滤装置包括第一单向阀、过滤器、第二单向阀、加湿器以及导管；过滤器包括第一筒体以及设置在第一筒体内的铁粉，第一筒体具有进气口和出气口；加湿器包括第二筒体以及安装在第二筒体上的进气管和出气管，第二筒体内装有水；第一单向阀的进口用于与空气气源连通，第一单向阀的出口连接在第一筒体的进气口，第二单向阀的进口连接在第一筒体的出气口，第二单向阀的出口通过导管连接在加湿器的进气管上，加湿器的出气管用于排除空气。除氧空气过滤装置能够有效滤出空气的氧气，避免空气与硅烷混合后使硅烷被氧化，从而避免硅烷不会在设备的通道中凝结。

主权项

一种除氧空气过滤装置，其特征在于，所述除氧空气过滤装置包括第一单向阀、过滤器、第二单向阀、加湿器以及导管；所述过滤器包括第一筒体以及设置在所述第一筒体内的铁粉，所述第一筒体具有进气口和出气口；所述加湿器包括第二筒体以及安装在所述第二筒体上的进气管和出气管，所述第二筒体内装有水；所述第一单向阀的进口用于与空气气源连通，所述第一单向阀的出口连接在所述第一筒体的进气口，所述第二单向阀的进口连接在所述第一筒体的出气口，所述第二单向阀的出口通过所述导管连接在所述加湿器的所述进气管上，所述加湿器的所述出气管用于排除空气。