[实用新型]一种用于金刚线半导体硅棒截断机的进刀装置

摘要

本实用新型涉及半导体加工技术，旨在提供一种用于金刚线半导体硅棒截断机的进刀装置。该装置在龙门支撑架的立柱上设置导轨以活动安装进刀单元背板，并通过丝杆螺母座与竖向丝杆组件连接；在进刀单元背板上对称布置了两组收放线轮组件、扩张导轮组件、并线导轮组件和端部设有切割导轮组件的摆动导轮臂；金刚石切割线在进刀单元背板上的布置使得在两个切割导轮组件之间的金刚石切割线呈平行线布置；两个收放线轮组件分别通过传动机构连接至驱动电机以实现同步转动，使得金刚石切割线能在两个切割导轮组件之间往复运动。本实用新型能够一次性获得一定厚度的单晶硅样片；通过调整摆动导轮臂之间的距离，使得金刚石切割线的线弓减小，提高切割效率。

主权项

一种用于金刚线半导体硅棒截断机的进刀装置，包括门形的龙门支撑架；其特征在于，在龙门支撑架的两侧立柱上分别设置竖向的导轨，进刀单元背板活动安装在两根导轨上，并通过丝杆螺母座与竖向布置的丝杆组件活动连接；丝杆组件的上端穿过龙门支撑架横梁的中心，且通过减速机接至进刀单元伺服电机，后者固定安装在横梁上；在进刀单元背板上对称布置了两个收放线轮组件、两个扩张导轮组件、两个并线导轮组件和两个端部设有切割导轮组件的摆动导轮臂；金刚石切割线在进刀单元背板上的布置方式为：金刚石切割线的一端缠绕保存左侧收放线轮组件中，然后依次经左侧扩张导轮组件、左侧切割导轮组件、右侧切割导轮组件、右侧并线导轮组件、左侧并线导轮组件、左侧切割导轮组件、右侧切割导轮组件、右侧扩张导轮组件后，另一端缠绕保存右侧收放线轮组件中；在两个切割导轮组件上分别设有两个串接的导轮，使得在两个切割导轮组件之间的金刚石切割线呈平行线布置；两个收放线轮组件分别通过传动机构连接至驱动电机以实现同步转动，使得金刚石切割线能在两个切割导轮组件之间往复运动。