[实用新型]一种低噪音的刻蚀设备

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀设备，特别是一种低噪音的刻蚀设备。该实用新型包括风刀组、热风机和高效过滤器，所述高效过滤器上设置有进风口，高效过滤器和热风机外包有机台，所述机台的壁面面向进风口的开口的方向设有回风口,所述回风口为长方形结构。该实用新型通过取消管道和多层包裹隔绝，使得降噪效果十分明显，保护现场操作人员的身心健康，保证其工作效率，同时提升了出风温度，从而提升了产能，且采用了一定方法增加循环效率更高。

主权项

一种低噪音的刻蚀设备，该刻蚀设备包括风刀组、热风机(4)和高效过滤器(7)，其特征在于：所述高效过滤器(7)上设置有进风口(5)，高效过滤器(7)和热风机(4)外包有机台(6)，所述机台(6)的壁面面向进风口(5)的开口的方向设有回风口(8),所述回风口(8)为长方形结构；机台(6)的外侧设置有风刀组，所述风刀组包括上下间隔设置的上风刀组(2)和下风刀组(3)，所述上风刀组(2)和所述下风刀组(3)的开口均为长方形，所述开口的长度与回风口(8)的长度相等，上风刀组(2)和下风刀组(3)分别与热风机(4)和高效过滤器(7)通过风管顺次连接，上风刀组(2)和下风刀组(3)的中间设置有放物平台(11)，所述放物平台(11)为网状结构，放物平台(11)的一端连接机台(6)，放物平台(11)、回风口(8)与进风口(5)均齐平设置，上风刀组(2)包括水平设置的前风刀a(15)和后风刀a(16)，所述前风刀a(15)的开口面向正下方向，所述后风刀a(16)的开口面向右下方向，前风刀a(15)与机台(6)的距离小于后风刀a(16)与机台(6)的距离，下风刀组(3)包括水平设置的前风刀b(18)和后风刀b(17)，所述前风刀b(18)的开口面向正上方向，所述后风刀b(17)的开口面向右上方向，前风刀b(18)与机台(6)的距离小于后风刀b(17)与机台(6)的距离。