[实用新型]一种柔性可拉伸光敏传感器及可穿戴设备

摘要

本实用新型公开一种柔性可拉伸光敏传感器及应用其的可穿戴设备，传感器包括柔性基底、金属导电层、金属缓冲层和柔性封装层，在柔性基底上覆盖半导体光敏层，金属缓冲层位于半导体光敏层与金属导电层之间，金属导电层的表面具有微裂纹结构，在大尺度拉伸下能保持较好的性能；金属缓冲层为熔点低于200摄氏度的金属薄膜，金属缓冲层的功函数与金属导电层和半导体光敏层匹配以形成欧姆接触，在金属导电层和半导体光敏层之间起到界面优化作用，提高传感器的电学性能；柔性封装层覆盖金属导电层及半导体光敏层上未与金属缓冲层接触的区域，实现光敏传感性能。可穿戴设备采用上述柔性可拉伸光敏传感器，柔韧性好，能够很好地与生物体结合。

主权项

一种柔性可拉伸光敏传感器，其特征在于，包括：柔性基底(1)，其上覆盖有半导体光敏层(2)；金属导电层(3)，其位于所述半导体光敏层(2)之上，所述金属导电层(3)的表面具有微裂纹结构；金属缓冲层(4)，其位于所述半导体光敏层(2)与所述金属导电层(3)之间，所述金属缓冲层(4)为熔点低于200摄氏度的金属薄膜，所述金属缓冲层(4)的功函数与所述金属导电层(3)和所述半导体光敏层(2)匹配以形成欧姆接触；柔性封装层(5)，其覆盖所述金属导电层(3)及所述半导体光敏层(2)上未与所述金属缓冲层(4)接触的区域。