[实用新型]一种应用于柔性显示领域的OFET器件

摘要

本论文主要研究一种应用于柔性显示领域的有机场效应晶体管（OFET）结构设计，包括：柔性衬底材料PET，在PET上真空蒸镀AL作为栅电极，旋涂聚合物甲基丙烯酸甲酯（PMMA）溶液作为介电层，真空蒸镀有机小分子材料并五苯（pentacene）及有机材料环已基二[N,N(4‑甲基苯基)苯胺]（TAPC）作为有机层，最后真空蒸镀金属金（Au）作为源漏电极。有机层采用体异质结结构提高载流子传输能力。定制不同沟道宽长比的源漏电极掩膜板，在其它工艺参数不变的情况下，选择最优的沟道宽长比，进一步提高载流子的传输能力，使得载流子的传输速率能够达到商用标准1cm2/（v.s）。

主权项

1.一种应用于柔性显示领域的有机场效应晶体管（OFET），其特征在于，包括：作为柔性衬底的透明聚合物PET,在PET上蒸镀铝作为栅电极，旋涂聚合物甲基丙烯酸甲酯（PMMA溶液）作为介电层，蒸镀有机小分子材料并五苯（pentacene）及有机材料环已基二[N,N(4‑甲基苯基)苯胺]（TAPC）作为有机层，最后蒸镀金属金（Au）作为源漏电极；为了进一步提高载流子的传输能力，定制不同沟道宽长比的源漏电极掩膜板。