[实用新型]一种隧道磁阻检测的微惯性组件

摘要

一种隧道磁阻检测的微惯性组件，主要结构由键合基板，支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成，适合微型化。

主权项

1.一种隧道磁阻检测的微惯性组件,其特征在于，所述微惯性组件应用隧道磁阻效应进行角速率、及加速度检测，所述微惯性组件包括：作为载体的键合基板，所述键合基板为中空的框架结构，在键合基板的内周侧处、及中间位置固定设置有隧道磁阻元件；与键合基板固定的支撑框架，在所述支撑框架的中间位置通过悬臂梁结构连接有敏感质量块，所述支撑框架内周边处对应隧道磁阻元件的正上方位置设置有检测组合梁，所述检测组合梁包括检测梁、连接块；所述检测梁为至少一层弯曲折叠的细长梁结构，并通过所述连接块连接所述支撑框架，检测微惯性组件惯性力、及离心力的位移，增大检测位移的灵敏度。