[实用新型]电磁驱动式隧道磁阻面内检测微陀螺装置

摘要

一种电磁驱动式隧道磁阻面内检测微陀螺装置,主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁、检测组合梁、驱动质量块、检测质量块、驱动梁、检测梁、驱动梁连接块、检测梁连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、导线、电极组成，支撑框架设置于键合基板上方，支撑框架通过驱动组合梁连接驱动质量块，驱动质量块通过检测组合梁连接检测质量块，隧道磁阻元件设置在检测质量块上表面中心位置并与键合基板凹槽内沉积的检测磁体相对应，此装置整体结构设计合理紧凑，采用电磁驱动，隧道磁阻检测，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，且使用方便、可靠性好、适合微型化。

主权项

1.一种电磁驱动式隧道磁阻面内检测微陀螺装置,其特征在于，由键合基板、支撑框架、第一驱动组合梁、第二驱动组合梁、第三驱动组合梁、第四驱动组合梁、第一检测组合梁、第二检测组合梁、第三检测组合梁、第四检测组合梁、驱动质量块、检测质量块、第一驱动磁体、第二驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、第一驱动电极、第二驱动电极、驱动反馈电极、检测电极、第一驱动导线、第二驱动导线、驱动反馈导线、信号检测导线组成，所述支撑框架设置于键合基板上方，支撑框架通过所述第一驱动组合梁、第二驱动组合梁、第三驱动组合梁、第四驱动组合梁连接驱动质量块，驱动质量块通过所述第一检测组合梁、第二检测组合梁、第三检测组合梁、第四检测组合梁连接检测质量块，隧道磁阻元件设置在检测质量块上表面中心位置。