[实用新型]一种具有双头机械手的硅片空满篮互换设备

摘要

本实用新型提供一种具有双头机械手的硅片空满篮互换设备，包括底座、立柱、横梁、X向驱动机构、X向移动块、Z向移动机构、满篮取放机构、空篮取放机构和倒篮机构，底座上竖直设置立柱，立柱的上端水平设置横梁，横梁上设置X向驱动机构，X向驱动机构上设置X向移动块，X向移动块的前壁面上设置Z向移动机构，Z向移动机构上相对应设置满篮取放机构与空篮取放机构，满篮取放机构设置为可旋转90度，倒篮机构设置于底座上，倒篮机构可翻转90度，倒篮机构设置于靠近满篮取放机构的一侧。本实用新型采用该设备，能够实现硅片清洗完成后的一体化空满篮互换过程，保证生产效率，且使得整体空间占据较小，降低能耗，并可节约生产成本。

主权项

1.一种具有双头机械手的硅片空满篮互换设备，其特征在于：所述具有双头机械手的硅片空满篮互换设备包括底座、立柱、横梁、X向驱动机构、X向移动块、Z向移动机构、满篮取放机构、空篮取放机构和倒篮机构，所述底座上竖直设置所述立柱，所述立柱的上端水平设置所述横梁，所述横梁上设置所述X向驱动机构，所述X向驱动机构上设置所述X向移动块，所述X向移动块的前壁面上设置所述Z向移动机构，所述Z向移动机构上相对应设置所述满篮取放机构与所述空篮取放机构，所述满篮取放机构设置为可旋转90度，所述倒篮机构设置于所述底座上，所述倒篮机构可翻转90度，且该倒篮机构设置于靠近所述满篮取放机构的一侧。