[实用新型]一种防止腔体泄漏的控压装置有效
| 申请号： | 201721024386.5 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN207165518U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;柳小敏;陈伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于包括腔体和所述腔体上的进气孔与控压孔；所述进气孔连接进气管道，所述控压孔依次连接控压管道和泄压阀；在所述进气管道与控压管道高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀和与所述进气管道气动阀联动的控压管道联动气动阀；所述的进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀和控压管道联动气动阀的同开同关。当腔体处于真空状态时，两个气动阀全部为关闭状态。由于泄压阀前端被联动的气动阀隔断，因此泄压阀的因微漏进入的管路的空气不能进到腔体，从而影响不到腔体的正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 泄漏 装置 | ||
【主权项】：
一种防止腔体泄漏的控压装置，其特征在于：包括腔体(1)和所述腔体(1)上的进气孔(11)与控压孔(12)；所述进气孔(11)连接进气管道(2)，所述控压孔(12)依次连接控压管道(3)和泄压阀(4)；在所述进气管道(2)与控压管道(3)高度一致的管道上分别设有进气管道气动阀(21)和与所述进气管道气动阀(21)联动的控压管道联动气动阀(31)；所述的进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的两个转动开关设轴心孔并由水平连接轴(5)轴心连接并相对设置；所述转动开关能同轴转动实现进气管道气动阀(21)和控压管道联动气动阀(31)的同开同关。
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