[实用新型]处理腔室及用于外延腔室中的部件和锥体

摘要

本实用新型公开一种处理腔室及用于外延腔室中的部件和锥体。本文中描述了一种外延沉积腔室，比如高生长速率外延腔室，所述外延沉积腔室在腔室中圆顶上方具有上部锥体，用于控制空气流。所述上部锥体在所述腔室中具有由两个或更多个间隙分离的第一部件和第二部件，每个部件具有部分圆柱形区域和从所述部分圆柱形区域延伸的部分圆锥形区域，所述部分圆柱形区域具有第一凹形内表面、第一凸形外表面、以及所述第一凹形内表面的固定曲率半径，所述部分圆锥形区域具有第二凹形内表面、第二凸形外表面、以及所述第二凹形内表面的变化曲率半径，其中所述第二凹形内表面从所述部分圆柱形区域延伸至小于所述固定曲率半径的第二曲率半径。

主权项

1.一种处理腔室，其特征在于包括：基座，所述基座被定位在位于所述处理腔室的第一侧上的气体引入端口与位于所述处理腔室的第二侧上的气体排放端口之间；圆顶，所述圆顶在所述处理腔室中在所述基座上方；以及板，所述板在所述处理腔室中在所述圆顶上方，所述板具有中心开口并且支撑在所述中心开口中由两个或更多个间隙横向分离的至少两个部件，每个部件具有：上部区域，所述上部区域具有凹形内表面和凸形外表面；以及下部区域，所述下部区域从所述上部区域向内渐缩。