[实用新型]一种引出窗法兰真空密封结构有效

专利信息
申请号: 201721039406.6 申请日: 2017-08-18
公开(公告)号: CN207080592U 公开(公告)日: 2018-03-09
发明(设计)人: 曾利;贾朝伟;李琦;罗德坤 申请(专利权)人: 四川智研科技有限公司
主分类号: F16J15/08 分类号: F16J15/08
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司51214 代理人: 沈强
地址: 621000 四川省绵阳*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种引出窗法兰真空结构,解决了引出窗法兰真空密封时,由于窗膜压板与引出窗法兰的密封平面误差度高,密封面的凹凸在真空密封时产生的缝隙对密封效果产生不良影响的问题,包括从下至上依次设置的窗膜压板、窗膜、引出窗法兰和扫描盒壁,所述引出法兰与扫描盒壁连接,窗膜与引出窗法兰之间设置有密封金属丝,窗膜压板与引出法兰上均设置有与密封金属丝相对应的螺丝孔,窗膜与窗膜压板之间设置有内衬垫板,引出窗法兰真空密封结构通过设置在螺丝孔内的螺丝压紧密封金属丝形成。本实用新型采用上述结构,内衬垫板在引出窗法兰真空密封时能补偿因窗膜压板与引出窗法兰之间的缝隙,使密封效果好,真空密封更加安全可靠。
搜索关键词: 一种 引出 法兰 真空 密封 结构
【主权项】:
一种引出窗法兰真空密封结构,包括从下至上依次设置的窗膜压板、窗膜、引出窗法兰和扫描盒体,所述引出窗法兰将窗膜压板、窗膜、扫描盒体真空密封连接,所述窗膜与引出窗法兰之间设置有用于真空密封的密封金属丝,所述窗膜压板与引出法兰均设置有与密封金属丝相对应的螺丝孔,其特征在于所述窗膜与窗膜压板之间设置有放置在窗膜压板上的内衬垫板,所述内衬垫板与引出窗真空密封,所述引出窗法兰真空密封结构通过设置在螺丝孔内的真空密封螺丝压紧密封金属丝形成。
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