[实用新型]太阳电池扩散炉进气装置有效
| 申请号： | 201721045407.1 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN207052619U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 郭银银;符亮 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳电池扩散炉进气装置，包括扩散炉体，所述的扩散炉体的炉口端使用石英炉门进行封闭，扩散炉体的炉尾端设有出气管和进气口，所述的出气管管路连接负压风机，从所述的进气口向炉口端插入有通入对电池片进行扩散处理的源气体的石英管。本实用新型从炉尾端向炉口端插入石英管以通入扩散所用反应气体，并由负压风机在炉尾端抽气，使得反应气体自炉口端向炉尾端移动，并均匀充满整个扩散炉体，从而有效地达到了改善电池片方阻均匀性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳电池 扩散 炉进气 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳电池扩散炉进气装置，包括扩散炉体(1)，其特征是：所述的扩散炉体(1)的炉口端(2)使用石英炉门进行封闭，扩散炉体(1)的炉尾端(3)设有出气管(4)和进气口(5)，所述的出气管(4)管路连接负压风机，从所述的进气口(5)向炉口端(2)插入有通入对电池片进行扩散处理的源气体的石英管(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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