[实用新型]一种硅片传送导向装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片传送导向装置，包括传送机构，传送机构的两侧均设有水平位移调节机构，两个水平位移调节机构上均设有高度调节机构，每个水平位移调节机构均带动与其对应的高度调节机构向传送机构靠近或者远离，高度调节机构包括高度调节导向座和导向条，高度调节导向座固定安装于水平位移调节机构上，导向条安装于高度调节导向座上，两个导向条分别位于传送机构的两侧。本实用新型中导向条更换方便的同时可以重复利用、减少更换时间、降低生产成本。

主权项

一种硅片传送导向装置，包括传送机构(3)，其特征在于：所述传送机构(3)的两侧均设有水平位移调节机构(1)，两个所述水平位移调节机构(1)上均设有高度调节机构(2)，每个所述水平位移调节机构(1)均带动与其对应的高度调节机构(2)向所述传送机构(3)靠近或者远离，所述高度调节机构(2)包括高度调节导向座(4)和导向条(5)，所述高度调节导向座(4)固定安装于水平位移调节机构(1)上，所述导向条(5)安装于高度调节导向座(4)上，两个所述导向条(5)分别位于所述传送机构(3)的两侧，所述高度调节导向座(4)上开设有竖直的卡槽B，所述高度调节导向座(4)上从上到下开设有多个卡槽A(6)，多个所述卡槽A(6)通过卡槽B连通，所述卡槽B和所述导向条(5)配合，所述导向条(5)的底部设有凸块(7)，所述凸块(7)与任意一个所述卡槽A(6)相配合。