[实用新型]用于化学浴沉积的设备

摘要

本实用新型公开一种用于化学浴沉积的设备，包含：槽体；循环泵，其通过第一引流管与该槽体的上部连接；分配支流结构，其通过第二引流管与该循环泵连接，且连接至该槽体的底部，该分配支流结构包括：多个喇叭状分散器，其连接至该槽体的底部，该等喇叭状分散器的内径由上至下渐缩；多个开孔管帽，其设置于该等喇叭状分散器的内部，通过该第二引流管与该循环泵连接，且于侧边具有多个开孔；分散板，其设置于该槽体与该等喇叭状分散器之间，且具有多个孔洞。借此，本实用新型的用于化学浴沉积的设备可使化学液在槽体中均匀地上升。

主权项

1.一种用于化学浴沉积的设备，其特征在于，包含：槽体；第一引流管，其与所述槽体的上部连接；循环泵，其通过所述第一引流管与所述槽体的上部连接；第二引流管，其与所述循环泵连接；以及分配支流结构，其通过所述第二引流管与所述循环泵连接，且连接至所述槽体的底部，所述分配支流结构包括：多个喇叭状分散器，其连接至所述槽体的底部，所述喇叭状分散器的内径由上至下渐缩；多个开孔管帽，其设置于所述喇叭状分散器的内部，通过所述第二引流管与所述循环泵连接，且于侧边具有多个开孔；以及分散板，其设置于所述槽体与所述喇叭状分散器之间，且具有多个孔洞。