[实用新型]一种硅片清洗槽有效
| 申请号： | 201721066178.1 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN207238646U | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 古元甲;刘晓伟;范猛;李伟;刘沛然;孙昊;孙毅;田志民;王少刚;秦焱泽;辛超;石海涛;赵朋占 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B5/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片清洗槽，包括内槽体和外槽体，内槽体上设置溢流口，内槽体与外槽体通过溢流口连通，内槽体底部设置进液口，进液口连接进液管，外槽体底部设置排放口，排放口连接排放管。本实用新型的有益效果是提高了太阳能硅片的清洗质量，内槽体的底部均匀排布加热管，加热管通过PLC控制系统控制，通过PLC控制达到智能加热的目的，保持槽内的水恒温，提高清洗效率，提高清洗质量，内槽体内部设置液位阀，液位阀实时监控内槽体内的水位，同时防止水满溢出的风险，单片水耗降低166％，减少了水资源的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗槽，其特征在于：包括内槽体和外槽体，所述内槽体上设置溢流口，所述内槽体与所述外槽体通过所述溢流口连通，所述内槽体底部设置进液口，所述进液口连接进液管，所述外槽体底部设置排放口，所述排放口连接排放管。
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