[实用新型]连续固晶装置有效
申请号: | 201721069332.0 | 申请日: | 2017-08-24 |
公开(公告)号: | CN207068816U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 向军 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/56;H01L29/861 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司32280 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨湖区隐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种连续固晶装置,包括工作台,所述工作台上设置有固晶工位,所述固晶工位的数量至少为二个,每个所述固晶工位用于将晶元放置在料片的不同固晶点处;转移工位,若干个所述转移工位依次设置在相邻两个所述固晶工位之间,用于将料片由前一所述固晶工位取放至后一所述固晶工位,通过在一个取晶固晶的工序中设置多个固晶工位,并通过转移工位实现各个固晶工位之间料片的输送,提高了单位时间的料片固晶工序的产出,大大减少了该工序的节拍时间,大大提高了装个封装的效率。 | ||
搜索关键词: | 连续 装置 | ||
【主权项】:
一种连续固晶装置,其特征在于,包括工作台(1),所述工作台(1)上设置有:固晶工位,所述固晶工位的数量至少为二个,每个所述固晶工位用于将晶元放置在料片的不同固晶点处;转移工位,若干个所述转移工位依次设置在相邻两个所述固晶工位之间,用于将料片由前一所述固晶工位取放至后一所述固晶工位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造