[实用新型]多晶铸锭用坩埚有效
申请号: | 201721071779.1 | 申请日: | 2017-08-24 |
公开(公告)号: | CN208121242U | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 唐骏;常传波;袁聪;杨振帮 | 申请(专利权)人: | 扬州荣德新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;郭迎侠 |
地址: | 225131 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶铸锭用坩埚,所述多晶铸锭用坩埚包括本体,所述本体的侧壁的内表面和底壁的内表面均设置有二氧化硅层,所述二氧化硅层上设置有磷层。在铸锭过程中,磷层在硅锭表面形成一层高磷区,这层高磷区相当于吸杂层,将靠近硅锭表面的金属杂质吸附到硅锭的外表面,提高硅锭的铸锭质量,避免了硅锭污染坩埚。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 多晶铸锭 硅锭 二氧化硅层 硅锭表面 内表面 磷层 磷区 本实用新型 金属杂质 铸锭过程 吸杂层 侧壁 底壁 吸附 铸锭 污染 | ||
【主权项】:
1.一种多晶铸锭用坩埚,所述多晶铸锭用坩埚包括本体,其特征在于,所述本体的侧壁的内表面和底壁的内表面均设置有二氧化硅层,所述二氧化硅层上设置有磷层,所述二氧化硅层的厚度范围为1um‑1000um。
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